快科技6月30日訊，據(jù)國資委官微，中國電科 旗下電科裝備已實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機(jī)28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。

據(jù)悉，離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備，當(dāng)前，28納米是芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。

新華社介紹，在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機(jī)就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。

此次，電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機(jī)產(chǎn)品格局，實現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋。

如今，電科裝備的百臺設(shè)備廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各大集成電路先進(jìn)產(chǎn)線，累計流片2000萬片。